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Diener 等離子表面處理儀 NANO

簡要描述:Diener 等離子表面處理儀 NANO特點
· 低壓等離子系統(tǒng),用于不同材料表面的處理

· 配置自動/手動模式,實現(xiàn)控制高機(jī)能

· 中型尺寸腔體可處理多種樣品

· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

  • 所在城市:上海市
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新日期:2024-12-02
  • 訪  問  量:1199
詳細(xì)介紹
品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè)

Diener 等離子表面處理儀 NANO特點

· 低壓等離子系統(tǒng),用于不同材料表面的處理

· 配置自動/手動模式,實現(xiàn)控制高機(jī)能

· 中型尺寸腔體可處理多種樣品

· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

 

 

Diener 等離子表面處理儀 NANO技術(shù)規(guī)格:

型號

NANO

NANO PCCE

控制系統(tǒng)

手動控制

PCCE 控制系統(tǒng)

工藝氣路

雙路或三路氣體

工藝氣體

O2,ArN2,CO2H2,Air等非腐蝕性氣體或者CF4 SF6等腐蝕性氣體

單體導(dǎo)入

H2O,親疏水涂層等單體(選配)

流量計

針閥流量計(防腐蝕)

MFC流量計(防腐蝕)

真空

腔體

材質(zhì)

高硼硅玻璃/石英

蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗

不銹鋼

蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗

鋁合金腔體

鉸鏈門

圓形腔體內(nèi)尺寸(Φ×D)mm

240×400(600) *1

267×420600*1mm

方形腔體內(nèi)尺寸  W×D×Hmm

240×420600*1×240mm

240×420600*1×240

容積

18L~27L

24L~34L

24L~34L

電極

360度外置環(huán)繞電極

平行平板電極

發(fā)生器*

 

100 kHz   0-500W

80 kHz    0-1000W

13.56 MHz 0-100W 或者0-300W 或者 0-600W

2.45 GHz  0-600W

真空壓力計

指針式壓力計

皮拉尼數(shù)字式壓力計

計時器

模擬數(shù)字式

數(shù)字式

托盤

高硼硅玻璃(石英選配),不銹鋼

外形尺寸(WXDxHmm

560x600-750x600-860mm

電源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排氣速度不小于16m3/H

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