簡(jiǎn)要描述:diener plasma低壓等離子清洗機(jī)適用于等離子清洗、活化、蝕刻及涂層。
產(chǎn)品目錄
品牌 | Diener | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,能源,建材,電子 | 電極 | 360度外置環(huán)繞電極 |
外形尺寸 | W525xD450xH450mm | 電源 | AC220V 50Hz 10A |
真空泵 | 排氣速度8m3/H | 工藝氣路 | 兩路 |
10.5 升的diener plasma低壓等離子清洗機(jī)為手動(dòng)型,配有 PC 和 PCCE 控制系統(tǒng),適用于等離子清洗、活化、蝕刻及涂層。
特點(diǎn):
·緊湊型設(shè)計(jì),節(jié)省空間
·輸出功率最大 300W,連續(xù)可調(diào)
·7寸觸摸屏人機(jī)交互界面(PCCE控制)
·存儲(chǔ)5套工藝參數(shù)(PCCE控制)
·操作簡(jiǎn)單
用途
·用于不同材料表面的處理
·適合于研究所、高校、研發(fā)中心使用
·兼容8''及以下Wafer的表面處理
diener plasma低壓等離子清洗機(jī)產(chǎn)品參數(shù):
選購(gòu)品:?jiǎn)误w導(dǎo)入模塊、發(fā)泡瓶、石英腔體、石英托盤(pán)、鉸鏈門(mén)、數(shù)字/模擬計(jì)時(shí)器(手動(dòng)控制)、皮拉尼真空計(jì)、法拉第盒、H2泄漏檢測(cè)(PC控制)、溫度傳感器(PC控制)、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥
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