賽默飛X射線衍射儀是一種實(shí)驗(yàn)室中常用的分析儀器，廣泛應(yīng)用于材料分析、結(jié)構(gòu)研究等領(lǐng)域。使用時(shí)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)需要注意實(shí)驗(yàn)條件的選擇、樣品制備的方法、實(shí)驗(yàn)操作的技巧以及對(duì)數(shù)據(jù)的處理和分析。只有掌握了正確的方法和技巧，才能得到準(zhǔn)確可靠的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
 

　　賽默飛X射線衍射儀的使用方法：
 

　　首先，要選擇適當(dāng)?shù)膶?shí)驗(yàn)條件。X射線衍射實(shí)驗(yàn)需要使用高能的X射線，因此必須在具有較高真空度的環(huán)境下進(jìn)行。同時(shí)，還需要根據(jù)待測(cè)材料的性質(zhì)和要求選擇合適的X射線源和檢測(cè)器。常用的X射線源有銅管和鎢管，檢測(cè)器則有NaI晶體和矽探測(cè)器等。
 

　　其次，要進(jìn)行樣品制備。樣品制備的方法取決于待測(cè)材料的性質(zhì)和要求。一般情況下，針對(duì)粉末樣品，需要將其研磨為顆粒較小的粉末，并進(jìn)行均勻的壓制，以保證實(shí)驗(yàn)結(jié)果的精確性。
 

　　接著，進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作。其使用方法較為簡(jiǎn)單。在進(jìn)行實(shí)驗(yàn)之前，需要使用標(biāo)準(zhǔn)品進(jìn)行校準(zhǔn)，以保證實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可靠性。隨后，將樣品放置在樣品架上，并使其與X射線束垂直，調(diào)節(jié)檢測(cè)器的位置和角度，選擇合適的檢測(cè)器與X射線衍射儀連接。
 

　　最后，進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和分析。在進(jìn)行實(shí)驗(yàn)之后，需要對(duì)所得的衍射圖樣進(jìn)行解讀和分析。從衍射圖樣中可以得到材料的晶體結(jié)構(gòu)、晶胞參數(shù)和晶格畸變等信息。此外，還可以通過(guò)對(duì)衍射峰的強(qiáng)度和位置的分析，獲得材料的晶體形貌、晶體尺寸和相對(duì)結(jié)晶度等信息。
 

　　——X射線測(cè)量滿足您的研發(fā)需求
 

　　Jordan Valley 的 Delta-X 是用于材料研究、工藝開發(fā)和質(zhì)量控制的新一代柔性 X 射線衍射儀器。 該系統(tǒng)具有全自動(dòng)源和檢測(cè)器光學(xué)元件以及水平樣品安裝，可以在*計(jì)算機(jī)/配方控制下在標(biāo)準(zhǔn)和高分辨率 X 射線衍射和 X 射線反射率模式之間切換，而無(wú)需手動(dòng)更改配置。 這可確保每次使用佳工具配置，而無(wú)需專家設(shè)置工具以供使用。
 

• 樣品的自動(dòng)校準(zhǔn)、測(cè)量和分析
 

　　• 測(cè)量的自動(dòng)化程度由用戶定義
 

　　• 使用 300 毫米歐拉支架實(shí)現(xiàn)高精度樣品定位和掃描
 

　　• 全300mm 晶圓水平貼裝和映射
 

　　• 由于 100° 傾斜 (Chi) 和無(wú)限方位角旋轉(zhuǎn) (Phi)，可以進(jìn)行極點(diǎn)圖和殘余應(yīng)力測(cè)量
 

　　• 根據(jù)請(qǐng)求的測(cè)量進(jìn)行智能自動(dòng)工具對(duì)齊和重新配置
 

　　• 行業(yè)領(lǐng)-先的設(shè)備控制和分析軟件
 

　　• 使用高分辨率測(cè)角儀進(jìn)行準(zhǔn)確和精確的測(cè)量
 

　　• 高強(qiáng)度光源和光學(xué)元件可實(shí)現(xiàn)快速測(cè)量
 

　　• 可用的技術(shù)和參數(shù)范圍廣泛
 

　　• 由擁有 30 多年經(jīng)驗(yàn)和龐大的全球安裝基礎(chǔ)的高分辨率 X 射線衍射領(lǐng)域的專家打造
 

　　自動(dòng)源和檢測(cè)器階段
 

　　• 光源光學(xué)器件的開發(fā)考慮到了易用性和最佳性能。 所有系統(tǒng)均標(biāo)配平行光束多層反射鏡，可提供適用于 XRR 和 XRD 測(cè)量的高強(qiáng)度光束。
 

　　• 為了啟用HRXRD，可以安裝一系列晶體光學(xué)器件，以涵蓋從8" (Ge 004) 到 >40" (Ge 111) 的分辨率。 可根據(jù)要求提供定制晶體。
 

　　• 它們會(huì)自動(dòng)切換進(jìn)出光束路徑，以便能夠在同一自動(dòng)測(cè)量批次中覆蓋適用于不同基板類型和不同技術(shù)的光束配置。 與其他系統(tǒng)不同，無(wú)需手動(dòng)從系統(tǒng)中移除鏡子或晶體，以確保它們不會(huì)損壞或錯(cuò)位。
 

　　高分辨衍射儀 & X 射線反射率
 

高分辨率 XRD 是第一原理測(cè)量，可以確定外延層的厚度、成分、松弛、應(yīng)變、摻雜劑水平和誤切
 

　　•直接測(cè)量多層結(jié)構(gòu)內(nèi)層的松弛/應(yīng)變/組成
 

　　•在需要時(shí)將三軸分析儀晶體自動(dòng)插入和對(duì)齊到光束中
 

　　•自動(dòng)樣品校準(zhǔn)、測(cè)量、分析和報(bào)告
 

　　•倒數(shù)空間圖在幾分鐘內(nèi)完成并使用PeakSplit 進(jìn)行分析
 

　　•可以使用模擬雙軸和三軸衍射掃描
 

　　• JV-RADS分析軟件
 

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　　X 射線反射率 (XRR) 是第一原理測(cè)量，可以確定薄膜的厚度、密度和粗糙度
 

　　•第一原理，無(wú)損測(cè)量
 

　　• XRR 對(duì)材料質(zhì)量不敏感，因此層可以是非晶、多晶或外延層
 

　　•金屬、氮化物、氧化物、有機(jī)物、聚合物……
 

　　•自動(dòng)樣品校準(zhǔn)、測(cè)量、分析和報(bào)告
 

　　•厚度范圍從 1nm 到 1µm，取決于吸收
 

　　分析軟件
 

　　JV-DX 系統(tǒng)上使用的分析軟件套件以 30 年的 X 射線表征和薄膜計(jì)量經(jīng)驗(yàn)為基礎(chǔ)。 基于在 Bede Scientific 的分析軟件套件中，JV-DX 分析包包括行業(yè)領(lǐng)-先的高分辨率 X 射線衍射 (HRXRD)、X 射線反射率 (XRR) 和 XRD 軟件模擬軟件。
 

　　bruker布魯克 JV-DX X射線衍射儀 XRD規(guī)格